零件清洗服務


弘潔零件清洗技術能夠針對半導體、顯示器、AMOLED 和 LED 之設備零組件服務,且具有良好的品質控制,利用優化的專業清洗技術去除零件表面的附著物與污染物並防止原始基材損壞。

  • Process : Dry Etch, CVD, PVD, DIFF, Photo……
  • Equipment : AMAT, LAM, TEL, Hitach, AMEC……
  • Material : (Al2O3, Y2O3, AlN) Ceramic, Silicon, Quartz, SiC, Coating Parts, Anodized Al, Metal (Al, Ti, Ni, …)……
  • Special Parts : ESC, AlN Ceramic Heater, Shower Head (ceramic bonding on Al body)


清洗產品

PVDCVDLAMTELAMAT
product_cleaning1.jpg

Lid Plate

product_cleaning2.jpg

Shower Head

product_cleaning3.jpg

TCP Window

product_cleaning4.jpg

Depo. Shield

product_cleaning5.jpg

LID

product_cleaning6.jpg

Water Box

product_cleaning7.jpg

Ceramic Heater

product_cleaning8.jpg

TCP Window

product_cleaning9.jpg

Exhaust Plate

product_cleaning10.jpg

Shower Head

product_cleaning11.jpg

Manifold


product_cleaning12.jpg

GDP

product_cleaning13.jpg

CEL Plate

product_cleaning14.jpg

Upper Linear

product_cleaning15.jpg

Dual Manifold


product_cleaning16.jpg

ESC

product_cleaning17.jpg

ESC

product_cleaning18.jpg

ESC


清洗功效

  • 有效去除零件孔洞內之附著物。

celplate.jpg

  • 有效去除零件表面上的聚合物。
  • 不會改變零件塗層厚度。
  • 不會改變零件表面粗糙度。

lamgdp.jpg


清洗流程

cp3.jpg


清洗成效

■ 有效去除零件孔洞內之聚合物與污染物。

■ 原始基材無損壞。

■ 最佳無塵清洗環境。(Class 10,000 ~10 等級)