零件整修服務


ESC 整修

LAM / AMAT / TEL / AMEC / ……
  • 等級 #1 : 陶瓷板表面翻修
  • 等級 #2 : 陶瓷板背膠重新塗布 & 表面翻修
  • 等級 #3 : 更換新品陶瓷板

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拆卸盤材

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新盤材

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加工

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掩蔽

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模型化


AMAT  乾蝕刻 Shower Head 整修

AMAT : Producer Etch/Enabler/e-Max
  • 維修品 : 更換新品陶瓷板
  • 新品 : 全新品

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Shower Head

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Remove Plate

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New Ceramic

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Water Flow Test

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Bonding Inspection


LAM  乾蝕刻 TCP Window 整修

LAM : 金屬 M / CX/ EX /NXP
  • SHD / IP Coating

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其他應用
  • SHD Y2O3 Coating on GDP
ItemAD (OEM)SHD (HJT)IP (HJT)
System Imagesi1.jpgsi2.jpgsi3.jpg
Step CoveragePoorGoodGood
Coating on CeramicGoodGoodGood
Coating on Anodizing AlXOX
Coating MaterialY2O3Y2O3Y2O3 & YOF

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