零件整修服务


ESC 整修

LAM / AMAT / TEL / AMEC / ……
  • 等级 #1 : 陶瓷板表面翻修
  • 等级 #2 : 陶瓷板背胶重新涂布 & 表面翻修
  • 等级 #3 : 更换新品陶瓷板


拆卸盘材


新盘材


加工


掩蔽


模型化


AMAT 干蚀刻 Shower Head 整修

AMAT : Producer Etch/Enabler/e-Max
  • 维修品 : 更换新品陶瓷板
  • 新品 : 全新品


Shower Head


Remove Plate


New Ceramic


Water Flow Test


Bonding Inspection


LAM 干蚀刻 TCP Window 整修

LAM : 金属 M / CX/ EX /NXP
  • SHD / IP Coating

其他应用
  • SHD Y2O3 Coating on GDP
ItemAD (OEM)SHD (HJT)IP (HJT)
System Image


Step CoveragePoorGoodGood
Coating on CeramicGoodGoodGood
Coating on Anodizing AlXOX
Coating MaterialY2O3Y2O3Y2O3 & YOF