R&D


洗净研发

● 支援最佳清洗条件使客户的制程更加顺畅

    ‧ 减少缺陷
    ‧ 减短交货时间

● 新的洗净研发用以支援新的材料洗净


表面形貌( 雷射显微镜 )

耐化学性

‧ 厚度削减
‧ 孔洞尺寸差异(AOI)

污染物去除率

(X-Ray, EDX, ICP-MS)


电浆熔射涂层研发

● 支援最佳熔射材料使客户的制程更加顺畅

    ‧ 增加定期保养周期与使用寿命
    ‧ 降低微粒产生
    ‧ 降低成本


成膜率&膜厚
表面粗糙度
孔隙率
硬度
附着力
崩溃电压
成分分析
材料结构
表面影像
耐化学性
耐电浆能力
清洗测试


新材料与产品研发

● APS (Atmospheric Plasma Spraying)
  • YF₃
  • YOF
  • Y₂O₃
  • YAG
● SPS (Suspension Plasma Spraying)
  • YOF
  • Y₂O₃
  • YAG
● SHD (Superior High Density)
  • Y₂O₃
● 创新与改善方案专利