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‧ 减少缺陷 ‧ 减短交货时间
● 表面形貌( 雷射显微镜 )
● 耐化学性
‧ 厚度削减‧ 孔洞尺寸差异(AOI)
● 污染物去除率
(X-Ray, EDX, ICP-MS)
‧ 增加定期保养周期与使用寿命 ‧ 降低微粒产生 ‧ 降低成本
