弘洁零件清洗技术能够针对半导体、显示器、AMOLED 和 LED 之设备零组件服务，且具有良好的品质控制，利用优化的专业清洗技术去除零件表面的附着物与污染物并防止原始基材损坏。
| PVD | CVD | LAM | TEL | AMAT |
|---|---|---|---|---|
 Lid Plate |  Shower Head |  TCP Window |  Depo. Shield |  LID |
 Water Box |  Ceramic Heater |  TCP Window |  Exhaust Plate |  Shower Head |
 Manifold |  GDP |  CEL Plate |  Upper Linear | |
 Dual Manifold |  ESC |  ESC |  ESC |
■ 有效去除零件孔洞内之聚合物与污染物。
■ 原始基材无损坏。
■ 最佳无尘清洗环境。 （Class 10，000 ~10 等级）
