弘潔零件清洗技術能夠針對半導體、顯示器、AMOLED 和 LED 之設備零組件服務，且具有良好的品質控制，利用優化的專業清洗技術去除零件表面的附著物與污染物並防止原始基材損壞。
| PVD | CVD | LAM | TEL | AMAT |
|---|---|---|---|---|
 Lid Plate |  Shower Head |  TCP Window |  Depo. Shield |  LID |
 Water Box |  Ceramic Heater |  TCP Window |  Exhaust Plate |  Shower Head |
 Manifold |  GDP |  CEL Plate |  Upper Linear | |
 Dual Manifold |  ESC |  ESC |  ESC |
■ 有效去除零件孔洞內之聚合物與污染物。
■ 原始基材無損壞。
■ 最佳無塵清洗環境。（Class 10，000 ~10 等級）
