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研發

品質

R&D


洗淨研發

● 支援最佳清洗條件使客戶的製程更加順暢

    ‧  減少缺陷
    ‧  減短交貨時間

● 新的洗淨研發用以支援新的材料洗淨


●  表面形貌( 雷射顯微鏡 )

●  耐化學性

‧  厚度削減
‧  孔洞尺寸差異(AOI)

● 汙染物去除率

(X-Ray, EDX, ICP-MS)


電漿熔射塗層研發

● 支援最佳熔射材料使客戶的製程更加順暢

    ‧ 增加定期保養週期與使用壽命
    ‧ 降低微粒產生
    ‧ 降低成本


● 成膜率&膜厚
● 表面粗糙度
● 孔隙率
● 硬度
● 附著力
● 崩潰電壓
● 成分分析
● 材料結構
● 表面影像
● 耐化學性
● 耐電漿能力
● 清洗測試


新材料與產品研發

● APS (Atmospheric Plasma Spraying)
  • YF₃
  • YOF
  • Y₂O₃
  • YAG
● SPS (Suspension Plasma Spraying)
  • YOF
  • Y₂O₃
  • YAG
● SHD (Superior High Density)
  • Y₂O₃
● 創新與改善方案專利

 


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